لیتوگرافی تماسی ماوراء بنفش

لیتوگرافی به روش برای انتقال الگو از ماسک به زیرلایه اطلاق میشود. لیتوگرافی به روش های مختلفی انجام میشود که از آن جمله میتوان به لیتوگرافی تماسی یا Contact Lithography، لیتوگرافی مجاورتی یا Proximity Lithography، لیتوگرافی کاهشی یا Reduction Lithography و لیتوگرافی بدون ماسک یا Maskless Lithography. 

دستگاه حاضر دستگاه لیتوگرافی تماسی است که معمولا به منظور انجام عملیات لیتوگرافی فقط در یک مرحله مورد استفاده قرار میگیرد. برای انجام لیتوگرافی در بیش از یک مرحله باید از دستگاه دیگر تولید شرکت سامانه تجهیز دانش به نام مسک الاینر رومیزی یا ایستاده استفاده کرد. دستگاه لیتوگرافی تماسی از منبع نور UV تک طول موج پایه LED استفاده میکند که دارای یک پیک حداکثر در طول موج 365+-5 nm میباشد. حداکثر شدت نور قابل دستیابی در این نمونه 5 mW/cm2 است که برای انجام امور لیتوگرافی بر روی فوتورزیست های با ضخامت متوسط کافی میباشد. مشخصات دیگر دستگاه در جدول زیر نشان داده شده است.

 

Features Specifications
Type Laboratories Desktop or Industrial Stand alone
Display 5” Touch Screen
Light source Monochromatic 365nm 20 watt
Maximum g-line intensity 7 mW/Cm2 in 20 watt UV source
Cover Material Stainless Steel
Vacuum grasping Mask & substrate
Warranty 1 year
Training and technical support In Training center and free remote support